研磨加工有著其它加工技術(shù)無可比擬的長處：研磨屬于典型的“直接創(chuàng)造性加工”或者稱為“進化加工”;即在工作母機上采取提高精度的措施(微量進給、低研磨速度、不斷改變研磨運動方向等)直接加工出比工作母機精度更高的零件。這是因為當(dāng)研具與工件接觸時，在非超精密平面研磨劃痕形成的建模與仿真強制性研磨壓力作用下，能自動地選擇局部凸出處進行加工，故僅切除兩者凸出處的材料，從而使研具與工件相互修正并逐步提高精度。超精密研磨的加工精度與構(gòu)成相對運動機床的精度幾乎是無關(guān)的，主要是由工件與研具間的接觸性質(zhì)和壓力特征、以及相對運動軌跡的形態(tài)等因素決定的。 

 

　

　此外研磨加工適應(yīng)性好，可以加工各種金屬材料、半導(dǎo)體材料、玻璃材料等固體材料，可以加工平面、孔、外圓和硅片基片等常見外形。超精密研磨是正在追求切削和磨削的加工效率，同時它本身具有切削和磨削達不到的加工精度和質(zhì)量。研磨加工具有適合于大批量生產(chǎn)、設(shè)備簡單、操作方便、加工精度高等特點。