平面研磨機(jī)加工技術(shù)是降低工件表面粗糙度、去除損傷層，獲得高形狀精度、表面精度和表面完整性的終加工手段。以不改變工件材料物理特性為前提的超精密加工需要使工件的形狀精度和表面粗糙度分別達(dá)到亞微米級(jí)、納米級(jí)，甚至追求更高表面完整性的無(wú)損傷拋光技術(shù)。它支持著撮新科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，促進(jìn)了超精密加工新技術(shù)的迅速發(fā)展。

  

    目前的模具型腔、汽車零部件等越來(lái)越多的應(yīng)用復(fù)雜曲面外形，需求量在不斷增加，性能要求也不斷提高，傳統(tǒng)加工方法已難以滿足實(shí)際應(yīng)用的需求，迫切需要進(jìn)一步提高，以期達(dá)到高效超精密加工，因而高精度復(fù)雜曲面零件的研磨加工是超精密研磨加工技術(shù)的撮高水平代表，是研磨加工行業(yè)的研究熱點(diǎn)。

  

    提高研磨效率和精度是超精密研磨加工領(lǐng)域急需解決的問(wèn)題。但由于工件加工過(guò)程中消耗的各種磨料、冷卻液、產(chǎn)生的加工殘余廢棄物等對(duì)環(huán)境造成不利影響，特別是依靠電化學(xué)、磁力研磨等拋光手段產(chǎn)生的廢棄液會(huì)對(duì)環(huán)境造成極大的污染，所以復(fù)雜曲面的超精密研磨加工，除了迫切需要提高研磨精度和效率之外，還面臨著如何解決成本的高低和環(huán)境友好性等問(wèn)題，因而能否開(kāi)發(fā)出具有高效、高精度、低成本和環(huán)境友好的復(fù)雜曲面超精密加工方法成了超精密研磨加工領(lǐng)域的重要研究課題。